PRODUCT
새로운 기술혁신으로 미래를 만들어 갑니다
WMS-TS
WMS, WAFER MARKING SYSTEM
LASER를 이용 웨이퍼 후면에 CHIP 단위 ID MARKING을 구현하는 설비
FEATURES
Si 및 sapphire 웨이퍼 chip ID 혹은 wafer ID laser marking
다이렉트 혹은 인다이렉트 고속 marking 솔루션 제공
특수한 광학 설계로 뛰어난 marking 품질 및 검사 가능
경제적 유지보수 비용 및 뛰어난 생산성
풋프린트를 위한 콤팩트 디자인
| ITEMS | DESCRIPTION |
| SUBSTRATE SIZE | 100 ~ 300mm |
| APPLICATION | Si / sapphire / glass |
| SYSTEM TYPE | 200mm & 300mm wafer compatible / 100mm & 150mm wafer compatible |
| LASER & OPTICS | DPSS laser ( UV / VIS / IR ) |
| PRECISION STAGE | direct / indirect marking |
| TACT TIME | 1,500 chips / 80 sec. ( 15 characters / chip ) |
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