PRODUCT
새로운 기술혁신으로 미래를 만들어 갑니다
VLSP-150
LLO, LASER LIFT-OFF SYSTEM
VERTICAL LED, MICRO LED 제조에서 필수 공정으로 SAPPHIRE WAFER로부터 GaN FILM 분리하는 설비
FEATURES
현장 검증된 고출력 KrF 엑시머 레이저 시스템
높은 처리 속도와 공정 안정성을 위해 특별히 설계된 빔 전달 시스템
상온 및 고온 공정에 적합한 레이저 리프트 오프 설비
안정적 웨이퍼 이송을 위한 이중 암 로봇 시스템
친숙한 GUI 채택된 자동화 제어 솔루션
| ITEMS | DESCRIPTION |
| SUBSTRATE SIZE | 2” ~ 6” wafer |
| APPLICATION | GaN wafer for vertical LED |
| SYSTEM TYPE | multi-heating & cooling chuck |
| LASER & OPTICS | special optical system with high power excimer laser |
| PRECISION STAGE | XYZR-axis based on granite XY-axis repeatability ≤ ± 2 um |
| TACT TIME | ≥ 20 wafers / hour ( at 6” wafer ) |
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