PRODUCT
새로운 기술혁신으로 미래를 만들어 갑니다
FLSP-S
LLO, LASER LIFT-OFF SYSTEM
FLEXIBLE OLED 디스플레이 제조를 위한 SHEET 단위 PANEL GLASS 로부터 PLASTIC FILM을 LASER ABLATION 통해 분리하는 설비
FEATURES
유리와 플라스틱 필름 분리를 위한 레이저 리프트 오프 공정
flexible display 생산을 위한 필수 공정 장비
고출력 레이저와 길고 얇게 빔을 가공하는 광학계로 높은 처리 속도
레이저 빔의 우수한 균질성으로 공정 성능 확보
생산성 향상을 위한 정밀 이중 스테이지 제어 방식
최적화된 하드웨어 설계로 설비 배치 공간 최소화
| ITEMS | DESCRIPTION |
| SUBSTRATE SIZE | 1,500mm * 925mm (G6.0 half) |
| APPLICATION | PI / glass & PI-BUFFER-PI / glass |
| SYSTEM TYPE | stand-alone type for mother glass panel |
| LASER & OPTICS | high power excimer laser & long line beam |
| PRECISION STAGE | XYZR dual stage based on granite / XY repeatability ≤ ±2 um |
| PROCESS SPEED (TACT TIME) | ≥ 42 sheets / hour ( at G6.0 size ) |
FLSP-C
LLO, LASER LIFT-OFF SYSTEM
FLEXIBLE OLED 디스플레이 제조를 위한 CELL 단위 PANEL GLASS 로부터 PLASTIC FILM을 LASER ABLATION 통해 분리하는 설비
FEATURES
유리와 플라스틱 필름 분리를 위한 레이저 리프트 오프 공정
flexible display 생산을 위한 필수 공정 장비
다중 셀 처리 방식으로 높은 처리 속도
레이저 빔의 우수한 균질성으로 공정 성능 확보
이동 속도가 빠른 멀티 모션 제어
최적화된 내부 프로세스 흐름 및 시스템 설계
| ITEMS | DESCRIPTION |
| SUBSTRATE SIZE | 1” ~ 15” panel |
| APPLICATION | PI / glass |
| SYSTEM TYPE | in-line flow type with multi-cell transfer |
| LASER & OPTICS | high power excimer laser & long line beam |
| PRECISION STAGE | dual stage with XYZR-axis based on granite XY-axis repeatability ≤ ± 2 um |
| PROCESS SPEED (TACT TIME) | 3.5sec / cell ( at ≤ 6.0” panel ) |
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