PRODUCT

새로운 기술혁신으로 미래를 만들어 갑니다

디스플레이

FLSP-S

LLO, LASER LIFT-OFF SYSTEM

FLEXIBLE OLED 디스플레이 제조를 위한 SHEET 단위 PANEL GLASS 로부터 PLASTIC FILM을 LASER ABLATION 통해 분리하는 설비

FEATURES

w 유리와 플라스틱 필름 분리를 위한 레이저 리프트 오프 공정

w flexible display 생산을 위한 필수 공정 장비

w 고출력 레이저와 길고 얇게 빔을 가공하는 광학계로 높은 처리 속도

w 레이저 빔의 우수한 균질성으로 공정 성능 확보

w 생산성 향상을 위한 정밀 이중 스테이지 제어 방식

w 최적화된 하드웨어 설계로 설비 배치 공간 최소화

ITEMS

w SUBSTRATE SIZE FOR PROCESS

w APPLICABLE SUBSTRATE

w SYSTEM TYPE

w LASER & OPTICS

w PRECISION STAGE

w PROCESS SPEED ( TACT TIME )

DESCRIPTION

max. 1,500mm * 925mm

PI / glass & PI-BUFFER-PI / glass

stand-alone type for mother glass panel

high power excimer laser & long line beam

XYZR dual stage based on granite   /   XY repeatability ≤ ±2 um

≥ 42 sheets / hour ( at G6.0 size )

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LLO, LASER LIFT-OFF SYSTEM

FLEXIBLE OLED 디스플레이 제조를 위한 SHEET 단위 PANEL GLASS 로부터 PLASTIC FILM을 LASER ABLATION 통해 분리하는 설비

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LLO, LASER LIFT-OFF SYSTEM

FLEXIBLE OLED 디스플레이 제조를 위한 CELL 단위 PANEL GLASS 로부터 PLASTIC FILM을 LASER ABLATION 통해 분리하는 설비

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OLED 디스플레이 제조를 위한 SHEET 단위 PANEL을 CELL 단위로 CUTTING 하는 설비

LCS-G80i
LCS, LASER CUTTING SYSTEM

LCD 디스플레이 제조를 위한 panel 편광 필름을 절단하는 설비