PRODUCT

새로운 기술혁신으로 미래를 만들어 갑니다

디스플레이

FLSP-C

LLO, LASER LIFT-OFF SYSTEM

FLEXIBLE OLED 디스플레이 제조를 위한 CELL 단위 PANEL GLASS 로부터 PLASTIC FILM을 LASER ABLATION 통해 분리하는 설비

FEATURES

w 유리와 플라스틱 필름 분리를 위한 레이저 리프트 오프 공정

w flexible display 생산을 위한 필수 공정 장비

w 다중 셀 처리 방식으로 높은 처리 속도

w 레이저 빔의 우수한 균질성으로 공정 성능 확보

w 이동 속도가 빠른 멀티 모션 제어

w 최적화된 내부 프로세스 흐름 및 시스템 설계

ITEMS

w SUBSTRATE SIZE FOR PROCESS

w APPLICABLE SUBSTRATE

w SYSTEM TYPE

w LASER & OPTICS

w PRECISION STAGE

w PROCESS SPEED ( TACT TIME )

DESCRIPTION

1” ~ 15” panel

PI / glass

in-line flow type with muti-cell transfer

high power excimer laser & long line beam

dual stage with XYZR-axis based on granite XY-axis repeatability ≤ ± 2 um

3.5sec / cell ( at ≤ 6.0” panel )

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