새로운 기술혁신으로 미래를 만들어 갑니다
디스플레이
FLSP-C
FLEXIBLE OLED 디스플레이 제조를 위한 CELL 단위 PANEL GLASS 로부터 PLASTIC FILM을 LASER ABLATION 통해 분리하는 설비
유리와 플라스틱 필름 분리를 위한 레이저 리프트 오프 공정
flexible display 생산을 위한 필수 공정 장비
다중 셀 처리 방식으로 높은 처리 속도
레이저 빔의 우수한 균질성으로 공정 성능 확보
이동 속도가 빠른 멀티 모션 제어
최적화된 내부 프로세스 흐름 및 시스템 설계
EXLA-1000ELA, EXCIMER LASER ANNEALING SYSTEM
OLED 디스플레이 제조를 위한 핵심 공정으로 LTPS 기술을 이용하여 a-Si 박막으로 부터 우수한 품질의 결정화 Si 박막을 형성하는 장비
FLSP-SLLO, LASER LIFT-OFF SYSTEM
FLEXIBLE OLED 디스플레이 제조를 위한 SHEET 단위 PANEL GLASS 로부터 PLASTIC FILM을 LASER ABLATION 통해 분리하는 설비
FLSP-CLLO, LASER LIFT-OFF SYSTEM
FLCS-G6LCS, LASER CUTTING SYSTEM
OLED 디스플레이 제조를 위한 SHEET 단위 PANEL을 CELL 단위로 CUTTING 하는 설비
LCS-G80iLCS, LASER CUTTING SYSTEM
LCD 디스플레이 제조를 위한 panel 편광 필름을 절단하는 설비
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