PRODUCT

새로운 기술혁신으로 미래를 만들어 갑니다

디스플레이

EXLA-1000

ELA, EXCIMER LASER ANNEALING SYSTEM

OLED 디스플레이 제조를 위한 핵심 공정으로 LTPS 기술을 이용하여 a-Si 박막으로 부터 우수한 품질의 결정화 Si 박막을 형성하는 장비

FEATURES

w 고출력 엑시머 레이저를 이용하여 a-Si 박막을 고품질 p-Si 형성

w OLED 디스플레이 제조를 위한 핵심 공정

w 매우 균일한 poly silicon 형성을 위한 laminar flow 공정 분위기

w 레이저 빔 및 공정 분위기 제어를 통한 grain size 제어

w 공정 수율 극대화를 위한 정밀 스테이지의 최적화된 구조 및 모션 제어

w 다양한 모니터링 툴을 갖추어 실시간 공정 모니터링

ITEMS

w SIZE

w APPLICATION

w SYSTEM TYPE

w LASER & OPTICS

w SYSTEM CAPABILITY

w PROCESS SPEED 

DESCRIPTION

1,500mm * 1,850mm ①

a-Si / PI / glass & a-Si / glass @ OLED & LCD display

stand alone type

high power excimer laser & long line beam ( 750 mm / 1,000 mm / 1,300 mm )

XYZR precision stage based on granite   /   XY repeatability ≤ ±1 um

≥ 10 sheets / hour ( at G6.0 size )

Related Products

EXLA-1000
ELA, EXCIMER LASER ANNEALING SYSTEM

OLED 디스플레이 제조를 위한 핵심 공정으로 LTPS 기술을 이용하여 a-Si 박막으로 부터 우수한 품질의 결정화 Si 박막을 형성하는 장비

FLSP-S
LLO, LASER LIFT-OFF SYSTEM

FLEXIBLE OLED 디스플레이 제조를 위한 SHEET 단위 PANEL GLASS 로부터 PLASTIC FILM을 LASER ABLATION 통해 분리하는 설비

FLSP-C
LLO, LASER LIFT-OFF SYSTEM

FLEXIBLE OLED 디스플레이 제조를 위한 CELL 단위 PANEL GLASS 로부터 PLASTIC FILM을 LASER ABLATION 통해 분리하는 설비

FLSP-G6
LCS, LASER CUTTING SYSTEM

OLED 디스플레이 제조를 위한 SHEET 단위 PANEL을 CELL 단위로 CUTTING 하는 설비

LCS-G80i
LCS, LASER CUTTING SYSTEM

LCD 디스플레이 제조를 위한 panel 편광 필름을 절단하는 설비