PRODUCT
새로운 기술혁신으로 미래를 만들어 갑니다
EXLA-1000
ELA, EXCIMER LASER ANNEALING SYSTEM
OLED 디스플레이 제조를 위한 핵심 공정으로 LTPS 기술을 이용하여 a-Si 박막으로 부터 우수한 품질의 결정화 Si 박막을 형성하는 장비
FEATURES
고출력 엑시머 레이저를 이용하여 a-Si 박막을 고품질 p-Si 형성
OLED 디스플레이 제조를 위한 핵심 공정
매우 균일한 poly silicon 형성을 위한 laminar flow 공정 분위기
레이저 빔 및 공정 분위기 제어를 통한 grain size 제어
공정 수율 극대화를 위한 정밀 스테이지의 최적화된 구조 및 모션 제어
다양한 모니터링 툴을 갖추어 실시간 공정 모니터링
| ITEMS | DESCRIPTION |
| SUBSTRATE SIZE | 1,500mm * 1,850mm |
| APPLICATION | a-Si / PI / glass & a-Si / glass @ OLED & LCD display |
| SYSTEM TYPE | stand alone type |
| LASER & OPTICS | high power excimer laser & long line beam ( 750 mm / 1,000 mm / 1,300 mm ) |
| PRECISION STAGE | XYZR precision stage based on granite / XY repeatability ≤ ±1 um |
| PROCESS SPEED (TACT TIME) | ≥ 10 sheets / hour ( at G6.0 size ) |
Related Products
EXLA-1000
ELA, EXCIMER LASER ANNEALING SYSTEM
OLED 디스플레이 제조를 위한 핵심 공정으로 LTPS 기술을 이용하여 a-Si 박막으로 부터 우수한 품질의 결정화 Si 박막을 형성하는 장비
FLSP
LLO, LASER LIFT-OFF SYSTEM
FLEXIBLE OLED 디스플레이 제조를 위한 SHEET(혹은 CELL) 단위 PANEL GLASS 로부터 PLASTIC FILM을 LASER ABLATION 통해 분리하는 설비
FLCS-G6
LCS, LASER CUTTING SYSTEM
OLED 디스플레이 제조를 위한 SHEET 단위 PANEL을 CELL 단위로 CUTTING 하는 설비
LCS-G80i
LCS, LASER CUTTING SYSTEM
LCD 디스플레이 제조를 위한 panel 편광 필름을 절단하는 설비
